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BiCMOS 器件应用前景及其发展趋势
BiCMOS 器件应用前景及其发展趋势
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摘 要:为拓宽混合微电子技术研发思路和加大其工程应用力度,综述了BiCMOS 器件的发展概况、
基本结构、技术特点和应用领域以及目前达到的技术水平,并简述了BiCMOS 技术的典型工艺和已
获得的研究成果,讨论了BiCMOS 电路未来的发展趋势和市场前景。
关键词:双极互补金属氧化物半导体器件;混合微电子技术;工艺结构;典型应用;发展趋势
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