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多晶硅制备的一体化电气系统设计及应用
多晶硅制备的一体化电气系统设计及应用
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摘要:基于改良西门子法多晶硅生产方式, 设计了一套集启动装置和还原装置一体化的多晶硅还原炉电气系
统, 并实现远程集中控制, 采用了基于电流和温度反馈两种控制变量设计控制算法, 实现了在不同温
度条件下电气控制系统实时自适应调节。
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