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中国材料工程大典.第11卷.信息功能材料工程（上册）
中国材料工程大典.第11卷.信息功能材料工程（上册）
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本书为第11卷，信息功能材料工程（上）。主要内容包括半导体硅材料，集成电路制造技术、硅基异质结构材料和器件、化合物半导体材料、宽带隙半导体及其应用等。
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