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爱德华真空泵系列
爱德华真空泵系列
产品样本目录
爱德华真空泵系列
目录
Contents
Illustrations
Tables
Associated publications
1 Introduction
1.1 Scope and definitions
1.2 Applications
1.3 Description
1.4 Priority of control
2 Technical data
2.1 General technical data
2.2 Electrical data
2.3 Loading
2.4 Connections
2.5 General data
3 Installation
3.1 Locate the dry pumping system
3.2 Lubrication
3.3 Connect the dry pumping system to your vacuum/exhaust system
3.4 Connect the iH1800HTX exhaust TMS
3.5 Connect to your factory extraction system (optional)
3.6 Connect the nitrogen supply
3.7 Leak-test the system
3.8 Electrical supply
3.9 Connect an additional RF earth (ground) (optional)
3.10 Connect to your emergency stop circuit
3.11 Connect the cooling-water hoses
3.12 Accessories
3.13 Commission the system
3.14 Install additional safety equipment
4 Operation
4.1 Start-up
4.2 Status indicators
4.3 Manual shut-down
4.4 Automatic shut-down
4.5 Unplanned shutdown and alarms
4.6 Emergency stop
4.7 Restart the pump after an emergency stop or automatic shut- down
4.8 Single equipment monitor (SEM)
5 Maintenance
5.1 Safety and maintenance frequency
5.2 Relocate the system for maintenance
5.3 Cleaning the pump
5.4 General maintenance
5.5 Replace a fuse
5.6 Inspect the connections, pipelines, cables and fittings
6 Transportation, storage and disposal
6.1 Transportation
6.2 Storage
6.3 Disposal
7 Service, spares and accessories
7.1 Introduction
7.2 Service
7.3 Ordering accessories
/
44
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齿轮小子
详细信息
类目：
行业设备->电子产品制造设备
描述：
爱德华真空泵系列选型手册
上架时间：
关键字：
半导体
作者：
Edwards
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